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- 奥林巴斯自动晶圆搬送机al120-12
详细信息
品牌：奥林巴斯 加工定制：否 型号：al120-12 重量：- kg 适用范围：半导体检查显微镜mx61l 用途：半导体检查 外形尺寸：- mm 材质：- 规格型号：- al120-12自动晶圆搬送机对应可使用foup（装载口）和fosb，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。
奥林巴斯 自动晶圆搬送机 al120-12概述：
★人机工程学设计，操作方便
●可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。
●分别对应foup(load port）和fosb的两种机型。
★坚固、可靠和安全传送
●延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性，能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
●薄片，warped晶圆皆能安全搬送。
●宏观观察位置的z*优化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作舒适性。
奥林巴斯 自动晶圆搬送机 al120-12技术规格：自动300 mm晶圆搬送机 al120-12 规格 al120-lmb12-lp3 al120-lmb12-f 晶圆尺寸 300 mm（semi m1.15 t＝775 μm）可选：200 mm 卡盒 ●foup（front opening unified pods）前开门标准夹
●semi：e47.1-0200规格产品
●fims-fosb, fosb●fosb（front opening shipping box）前开门搬运盒
●semi：m31-0999规格产品卡盒数 单盒（装载、卸载兼用） 卡盒设置高度 900 mm 装载端口 有 无 搬运顺序 表面宏、内面宏、显微镜检查 检查模式 全部检查、抽样检查 晶圆校准 非接触式中心环 晶圆搬运方式 真空吸附机械搬运 适用显微镜 半导体检查显微镜mx61l 应用环境 ac100～120 v，220～240 v，3.0/1.7 a，50/60 hz
真空-67～-80 kpa
压缩空气0.5mpa～0.6mpaac100～120 v，220～240 v，3.0/1.7 a，50/60 hz
真空-67～-80 kpa载物台 xy手动吸附载物台，有xy粗调／微调和360度旋转机构 重量（不包括显微镜） 约360 kg 约270 kg
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